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VMP特气阀门盘(笑气阀门盘)

产品分类:VMP阀门盘


产品说明:特气分配面板就是具有多个分支出口且每个分支出口上都设有阀门的能将主管道中的液体或气体分流到各分支出口的管路构件。目前的管路分流器,其分流管与各分路球阀都是利用螺口连接的。

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产品详情

结构特点:

· 专为特气关键制程工艺设计

· 面板式整体结构便于安装

· 主体采用316L不锈钢材质,更适合于半导体制程特气使用

· 金属膜片减压结构

· 硬密封结构,避免材质老化污染

· 采用膜片阀控制,流道简洁,操作可靠,使用寿命长

· 阀组采用焊接与VCR结构连接,大幅避免泄漏。

· 可选用报警信号压力表结构,供气欠压提供报警信号

· 特气系列减压器

· 配安全阀

· 进口减压阀及管路经耐压测试和泄漏测试

· 2”不锈钢压力表,读数清晰

· 所有膜片阀旋钮带“开启/关闭”指示窗

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