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PECVD设备的scrubber的作用和分类以及安装位置

2020-03-21 09:25:58    责任编辑: 沃飞科技     0

PECVD设备的scrubber的作用和分类以及安装位置

PECVD设备接scrubber是干什么用的?scrubber 一般接在什么位置?下面由沃飞科技来为大家简单的讲解一下CVD设备的scrubber的作用和分类以及安装位置。
Scrubber基本上是专为PECVD设备的尾气处理而设计的一种设备,PECVD尾气一般含有大量Particles以及棘手的未反应易爆易燃或有毒气体排出,Scrubber为降低后端处理的困扰与安全而专门设计的设备。local scrubber专属PECVD单台或多台使用,可分为燃烧式, 加热式, 等离子式, 搭配水洗!

Scrubber设备的分类

scrubber根据不同的工艺,产生不同的尾气;选用不同的处理方式的!

scrubber设备有电加热式、燃气式、吸附式、还有一种是用plasma式,其中吸附式要更换吸附桶,使用起来价格比较高,但维护起来是最方便的。

一般选用可用加热水洗式,水洗加热再水洗式。SiH4在燃烧后会反应成SIO2。NH3与水反应会产生结晶物。NF3, WF3,SIF4,C2F6的离子键会在燃烧后打开,再跟水反应成HF。
Scrubber设备的安装位置

Scrubber设备一般安装在设备真空泵pump和废气排出总管之间。有毒有害的废气经过真空泵pump抽压抽到Scrubber设备经过处理后然后在排到厂务。
以上就是沃飞科技为大家简单讲解的关于CVD设备的scrubber的作用和分类以及安装位置,希望能给大家提供参考。

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