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高纯化学品集中供液系统

2020-03-02 16:21:20 0

高纯化学品是大规模集成电路和超大规模集成电路制造的关键性配套材料,主要用于芯片的清洗、蚀刻,以及高能电池电解液、电子元器件、高端通用芯片、分立器、平板显示器、太阳能电池、光电玻璃等制造领域。高纯化学品的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性均有十分重要的影响。高纯化学品具有品种多、用量大、技术要求高、储存使用有时间期限和具备腐蚀性等特点。



在集成电路芯片和液晶显示器生产的行业中,生产工艺需用的各种无机化学品药液(主要包括各类酸、碱、盐等)需要通过管道输送到工艺设备,这些化学品药液中具有强腐蚀性、易燃性、易爆性和剧毒性等危害,为防止化学品管道的输送过程对人、设备造成伤害以及对环境造成的污染,保证电子工业厂房化学品管道安全有效输送,要求此类管采用双套管的施工方法,而传统的双套管施工工艺是透明PVC管内穿PP管或PVDF管的硬管施工方法。

本工艺采用了透明PVC管内穿PFA软管的施工方法,即管道系统包括内外管两层管道,内管采用四氟乙烯与全氟烃基乙烯醚的共聚物的软质管道(分PFA/PVDF/ECTFE等系列),内管为输送化学品的管道,外管采用透明PVC管道,为保护管道。输送管道规格一般为DN10、20、25、50 (1/4”、3/4”、1”、2”)的焊接型PFA管材及其管件,管道、附件均通过专用PFA焊接机进行焊接,与设备连接通常为法兰连接。

系统组成:
系统一般由设于化学品间外墙的接收装置、化学品间内的化学品接收储罐、供给装置、化学品供给管路组成,。
a.化学品接收装置,设置在化学品间内,于外墙设有接收窗,直接将室外化学品槽车的化学品接收,并注入药品储罐内;
b.标准化学品接收储罐,置于化学品间地下基础之上,储存化学品;
c.化学品供给装置,置于化学品间内,向使用设备供应化学品;
d.化学品供给管路,自接收装置至化学品储罐,再由化学品储罐至化学品供给装置。由外套管及内管组成,外管均为透明PVC管,内管由焊接型PFA管及PFA弯头组成。这类管道一般用于接收装置至化学品接收储罐至供给装置的管路。

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